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死一般的寂静,笼罩了会场足足有三四秒钟。然后——"啪!啪!啪!"马骥院士第一个站了起来,他什么也没有说,只是用尽全力地、一下一下地鼓着掌。

老泪,顺着他布满皱纹的脸颊滑落。紧接着,钱建国教授猛地站了起来,双手拍得通红!"陈院长!我签!我老钱这把骨头,就交给这个项目了!"他几乎是吼出来的,"两个月内,我就住在实验室!不成功,便成仁!"

"我也签!"那位海归学者抹去眼泪,目光变得无比坚定,"我放弃国外的一切职位和待遇,全程参与!需要我做什么,我就做什么!""算我一个!""还有我!""我们组全体签字!"......

陈军没有任何耽搁,立刻开始进行分组部署。

"第一组,由李院士牵头,负责超高纯度电子级硅晶体的提炼和制备,我要求的目标纯度,是11个9,小数点后面十个9!一丝一毫的杂质,都不能有!"

"第二组,由张总工负责,主攻硅锭制造和硅片切割、抛光工艺,我要的硅片,全局平整度误差必须小于零点一纳米!"

"第三组,也是核心中的核心,光刻机整机设计与集成,由我亲自带队!钱建国教授,马骥院士,请你们两位担任我的副手,我们需要在最短时间内,吃透图纸,并制造出第一台工程样机!"

在陈军的专属实验室内,景象令人叹为观止。足足占据了三面墙的巨大白板上,画满了光刻机各个子系统的结构草图、计算公式和逻辑流程图。而在实验室中央那张特制的、长达十米的合金工作台上,则铺满了厚厚一叠叠、标注着"极密"的图纸。

国科院资深机械工程师宋老和电子系统专家张老,正凑在图纸前,眉头紧锁。

"陈总,这部分,"宋老指着一份关于光源传输系统的图纸,手指在一个复杂的透镜组结构上点了点,"这个非序列光学路径的设计,尤其是这几个反射镜的偏转角度和曲面方程......我怎么有点看不懂?按照传统光学设计,这里的光损会非常大,而且容易产生难以消除的杂散光。"

"还有这个,指定的这种'纳米复合陶瓷基材料',其热膨胀系数和介电常数要求非常特殊,我们之前的

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