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“如果我猜的没错,你们目前研究的方向,氧化镓的衬底材料是β-Ga??O??,β相氧化镓对吧?”

“你这话说的,氧化镓衬底材料当然是用β-Ga??O??最好了。”

林仙儿皱眉道,“怎么?难道你们公司不是吗?”

“也算是,也算不是。”

李涵笑道,“β-Ga??O??衬底是氧化镓最稳定的晶型(热力学稳定相),可直接作为衬底使用,无需依赖其他材料。其制备技术最成熟,通过垂直布里奇曼法(VB法)或导模法(EFG法)可直接生长出大尺寸单晶010衬底(目前已量产8英寸),是氧化镓雷达器件的主流选择。”

“这个衬底的核心优势是禁带宽度4.8eV,击穿电场8MV/cm,适合制造高功率器件,且与氧化镓外延层的晶格匹配度接近100%(同质外延),缺陷密度低(<1×10??/cm??)。”

“但是,最稳定的β-Ga??O??衬底,往往意味着其他方面的欠缺。β-Ga??O??材料衬底确实有很多优点,但最大的缺点就是散热。”

“如果散热搞不好,无论β-Ga??O??衬底有多么的稳定,那也只是空中楼阁,说塌就塌。”

许大年认可的点头道,“李总,看来您确实对雷达这方面有研究,毫无疑问,衬底散热是目前世界性难题,氧化镓雷达为什么这么久都进展不大,有一个原因就是β-Ga??O??材料衬底散热性能差,很容易烧坏出现故障。”

林仙儿这时不屑道,“这些问题我们都清楚,我们就是想要解决β-Ga??O??衬底的散热问题,才来看看有没有什么新的办法。”

李涵笑道,“实际上,我们在β-Ga??O??衬底材料上也吃过亏,花费了大量时间用在研发这款衬底上面。”

听见这话,许大年有些惊讶道,“难道你们用了其他材料,才攻克了这一难题?”

“也对,也不对。我不是说了,我们设计了三套衬底。”

李涵想了想道,“除了其他两套衬底材料外,β-Ga??O??也是其中衬底的关键基础材料。”

“也就是说,其他两套衬底,是用的其他材料为基础?”

“对。”

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