正月初七,年味尚未散尽,深圳的深微半导体三厂却已笼罩在一片比冬日更冷的寒意中。
假期里那顿素包子带来的热血,被现实兜头浇了一盆冰水。刘工团队按照陈凡“降低分子量、增加单体活性”的思路,连夜调配出的第七版光刻胶,在上午的涂布实验中,表现出了灾难性的后果。
实验室里,原本应该平整光滑的晶圆表面,此刻像患上了严重的皮肤病。胶体不仅没有均匀附着,反而出现了大面积的“橘皮现象”——表面皱缩,凹凸不平,如同扔进火炉烤焦的橘子皮。更严重的是,在随后的显影过程中,图案边缘模糊不清,线条断裂,整批晶圆彻底报废。
“怎么会这样……”刘工瘫坐在椅子上,双手抱头,军大衣的领口被抓得变了形。他盯着显微镜下那惨不忍睹的画